半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料高档公测模块化涉重污水——MVR硬性循坏零排活动
顶目大环境
半导技术高档次首测活动,建设规模150立米米/天,是正式启动半导技术首测配套方案涉重化工污废水 零排活动。首测部分的镀镍、镀铜、引线三层架构洗涤会引起含镍含铜化工污废水 ,园区规划想要"无尾水外排",产水所有造纸废水处理于产线。
土质基本特征与疑难问题
污废水 以含镍为中心(渗透压10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH振幅大(2–12),和光刻胶残余物的几瓶无机物。首测厂场景紧,的标准加工处理公共设施占地面小;零排意示着浓水并不能清运太多太多,可以地方蒸发掉成果前馈。
整工院艺自驾线路
纵向走"分质采集而来 → 预进行处理除杂 → 药剂学发展除镍 → 过滤器 → UF+二级RO → MVR硬性配置汽化 → 冷却水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢腐蚀钠转化Ni(OH)₂凝固,多加混炼钠淬硬层气体吸附残留物镍(混炼镍Ksp比氢腐蚀镍更小,能够把镍压到0.1毫克/升低于);
沉积水流经多物质滤出+安保滤出后进UF,再进一层RO,产水简单回产线拆洗;
RO浓水(含盐+残留天价属)进MVR二次性要求重复挥发器,二次性要求重复能扛高含盐积垢,挥发器有带在线免费擦拭,不方便堵;
MVR冷凝剂水回中水回用洗手池,蒸发器残液委外梵烧或成为垃圾防范,一部分作业区无液太外排。
重要仪器显著优点描述
MVR强迫循坏不同于一般降膜挥发,循坏流动速度高、对流传热面容易结镍盐/碳酸盐垢,适当测封这般"用水量越来越但水硬度杂"的游戏场景;立体式化撬装设计占地面比传统性挥发塘+多效挥发措施小60%以上内容;臭味侧一体化菌物滤池,把调低池和污水间的臭味收录后可降解成CO₂和水,以免测封厂紧临办公室区的怪味投述。
清理功能与经济发展
溢水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远高于《电镀工艺污染源物释放物原则》表三;所有 150立米米/天产水循环于首测产线清理,代替品等量新鲜感水;危险废物(减压蒸馏残液+生活污水)量比传统与现代"石雕文化沉淀+释放物"方法减约70%。对富士康侧,首测好项目安全分级管理卡点遭打通;