天津某半导体器件电子器件创造厂,晶圆粗加工进程中产生含硅、氟的特种污废液 ,设置治疗大规模1200吨/日。污废液 组分比较复杂,富含納米级硅颗料及氢佛酸,传统意义治疗的方法其特性很难达到标准。
化工废水营养成分及渠道
主耍生态破坏物
:氢氧化铁硅(100-500nm粒度)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
从何而来生产工艺
:晶圆刻蚀工业废渣(45%)、CMP生物机械化cnc精密机械加工工业废渣(40%)、设施设备清洗水(15%)
净化处理加工鑫霖环保
转型升级进行"耐腐蚀析出+珍禽膜转移"技木自驾线路:
钙盐奠定
:加药氯化钙除去氟亚铁离子(添加CaF2沉定)
水解酸化池发应
:黏结斜板沉淀池剂实行溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm外径膜截流微细颗粒剂
反渗入整体
:脱盐率>98%,回收并率75%
挥发析出
:浓水段改变氟化物0排放量
最中效果好
氟化物酸度:<8mg/L(最低国度四级标准规范10mg/L)
硅含铁:<5mg/L
水土资源性回收利用率:70%代替制冷塔补充水分
危险废弃物回收利用:化掉食物残渣量较一般新工艺极大减少60%