内容后台 上海市某半导厂制造流程中同时会产生高硅工业化工废水处理工艺（SiO₂ 500-800mg/L）和含氟工业化工废水处理工艺（F⁻ 200-300mg/L）。俩种工业化工废水处理工艺分层时易成型氟硅酸橡胶胶体部分，传统式化学悠长岁月中法未能固定达到标准单位。建设项目追求同歩去掉硅和氟（排放口标准单位：SiO₂≤30mg/L，F⁻≤10mg/L）。 废水处理工艺化学成分及來源 重要组分 ：硅酸氢钠（NaHSiO₃）、氟化铵（NH₄F）、异丙醇 來源 ：晶圆刻蚀废液、CMP磨细废液、设备洗水 正确处理技艺环节 携手乳浊液环节 ： 有级发生反应池 ： 一是级添加Ca(OH)₂转化成CaF₂和CaSiO₃发展； 第二个级加药系统PAC（整合氯化铝）升星水解酸化池。 固液拆分阶段性 ： 反渗透膜设备 ：选取0.02μm钻孔大小膜部件虚报冒领固体硅和微细沉定物。 淬硬层脱氟时段. ： 催化活性空气氧化铝粉物理吸附塔 ：残留氟化合物吸附性洗去。 结果功效 溢水SiO₂≤25mg/L，F⁻≤8mg/L，远相对比较国内的标准。 反渗透膜系统软件通量固定在15LMH，催化清洁工作时间延缓至60天。 工业废水经压滤后水分含量率＜65%，可按寻常危险废物正确处理。