该晶圆手工制造商坐落于华中一个国家,最主要的生育8屏幕尺寸半导体技术晶圆,平均焦化废水废气量约800吨。因此生育方式中食用许多氢佛酸做晶圆蚀刻,导至焦化废水底氟化物渗透压更是高达200-300mg/L,远超一个国家废气规范标准(10mg/L如下)。
废水处理方法组分及源
废水处理工艺主要是来六个过程:
晶圆蚀刻多种工序
:含高渗透压氟化物(HF)、氯化铵及多量天价属
电学机械设备增加光泽(CMP)化工废水
:含纳米技术级硅科粒、充分络合剂
仪器的清洗废渣
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机的物
解决加工过程程序流程
使用"普通机械沉定+混疑沉定+广度过滤器"三级分销治疗程序:
四级处置
:加药氯化钙和氢腐蚀钙,生成氟化钙积淀,氟化物除去率达85%
特殊外理
:增添PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),除去电解质溶液态污染问题物
一级净化处理
:实现多有机溶剂滤过器和活性氧炭气体吸附,喷水氟化物浓度值保持稳定在8mg/L接下来
关键所在机械比如:pH一键调理软件系统、斜管结晶池、板框压滤设备(污泥处理甩干)。
决定性治疗效果
项目流程运转3年检测数据统计显现:
氟化物平衡渗透压:7.2mg/L(不超过地区的标准)
COD取除率:92%
生活污水水分含量率:≤65%
年收售氟化钙副品牌约150吨,完成市场化再生利用