建设项目背景图案
某大半导体行业手工制造企业的主建在长角形各地,首要种植晶圆和工作器。在种植流程中,晶圆锯开和打磨时段.产生了非常多的抛光液化工废水,日访问量排卸量约50吨。鉴于化工废泥中包含高溶度浮窗物、五金正离子及有机质增长剂,直接的排卸会对的环境致使难治造成的污染,企业的主肯定需要开发专业工作生活设施。
生产废水含量及渠道
机磨液电镀废水其主要的源头于晶圆工艺中的化学反应机械设备制造增加光泽(CMP)环节,其主要的被排放物其中包括:
漂浮顆粒物
:二被氧化物硅、被氧化物铝等考虑颗粒剂,颗粒直径在0.1-1μm,含量敢达2000mg/L。
塑料铝离子
:铜、铁、锌等,根据cnc精密机械加工垫划痕及晶圆表皮彩石层,铜铝离子浓硫酸浓度约50mg/L。
可挥发增添剂
:包扩接触面生物剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性类物质
:pH值变化大,基本上在2-11之前。
整理方法流程步骤
面向废污水特征参数,分为“预除理+生化模式+纵深除理”组合构成施工工艺:
自动调节池
:多样化污水水质出水量,增多酸碱性调结pH至弱酸性。
水泥混凝土石雕文化沉淀
:加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),删去悬浮按钮物和固体,沉降后SS删去率>90%。
崔化空气氧化
:利用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)分解巧妙获取剂,COD洗去率达60%。
海洋生物解决
:MBR膜怪物反应迟钝器进一歩生物降解剩的生物碳物,COD降到100mg/L以上。
阳离子传递
:专用箱光敏树脂吸铜阴阳离子,冒水铜含量的<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭滤出
:为了确保溢水清亮,提升《城市污水整合排放出要求》(GB8978-1996)五级要求。
后面感觉
系统软件运转安稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
使用率达40%,乘余标准产生,年限制废气产生1.7万吨。
治理料工费约15元/吨,远如果低于服务业月均。